Bekendstelling
Skoon kamer is die basis van besoedelingsbeheer. Sonder skoon kamer kan besoedelingsgevoelige onderdele nie massa vervaardig word nie. In Fed-STD-2 word Clean Room gedefinieer as 'n kamer met lugfiltrasie, verspreiding, optimalisering, konstruksiemateriaal en toerusting, waarin spesifieke gereelde werkprosedures gebruik word om die konsentrasie van die lugdeeltjies te beheer om die toepaslike deeltjies-skoonheidsvlak te bereik.
Om 'n goeie netheidseffek in skoon kamer te bewerkstellig, is dit nie net nodig om nie net te fokus op die gebruik van redelike suiweringsmaatreëls vir lugversorging nie, maar ook om proses, konstruksie en ander spesialiteite te vereis om ooreenstemmende maatreëls te tref: nie net redelike ontwerp nie, maar ook noukeurige konstruksie en installasie in ooreenstemming met die spesifikasies, sowel as die korrekte gebruik van skoon kamer en wetenskaplike instandhouding en bestuur. Om 'n goeie effek in skoon kamer te bewerkstellig, is baie huishoudelike en buitelandse letterkundes vanuit verskillende perspektiewe uiteengesit. In werklikheid is dit moeilik om ideale koördinasie tussen verskillende spesialiteite te bewerkstellig, en dit is moeilik vir ontwerpers om die kwaliteit van konstruksie en installasie te begryp, sowel as die gebruik en bestuur, veral laasgenoemde. Wat die suiweringsmaatreëls vir skoon kamer betref, gee baie ontwerpers of selfs konstruksiepartye dikwels nie genoeg aandag aan hul nodige voorwaardes nie, wat lei tot onbevredigende netheidseffek. Hierdie artikel bespreek slegs kortliks die vier nodige voorwaardes vir die bereiking van skoonheidsvereistes in suiweringsmaatreëls vir skoon kamer.
1. Lugtoevoer netheid
Om te verseker dat die skoonheid van die lugvoorsiening aan die vereistes voldoen, is die sleutel die werkverrigting en installering van die finale filter van die suiweringstelsel.
Filter seleksie
Die finale filter van die suiweringstelsel neem gewoonlik 'n HEPA-filter of 'n sub-HEPA-filter aan. Volgens my land se standaarde word die doeltreffendheid van HEPA -filters in vier grade verdeel: Klas A is ≥99,9%, Klas B is ≥99,9%, Klas C is ≥99,999%, Klas D is (vir deeltjies ≥0,1μM) ≥99,999 % (ook bekend as ultra-hepa-filters); Sub-HEPA-filters is (vir deeltjies ≥0,5μm) 95 ~ 99,9%. Hoe hoër die doeltreffendheid, hoe duurder is die filter. Daarom, wanneer ons 'n filter kies, moet ons nie net aan die skoonheidsvereistes vir lugvoorsiening voldoen nie, maar ook ekonomiese rasionaliteit oorweeg.
Vanuit die perspektief van skoonheidsvereistes, is die beginsel om lae-werkverrigtingfilters te gebruik vir skoon kamers op lae vlak en hoëprestasie-filters vir skoon kamers op hoë vlak. Oor die algemeen: hoë-en-medium-doeltreffendheidsfilters kan vir die 1 miljoen-vlak gebruik word; Sub-HEPA of Klas A HEPA-filters kan gebruik word vir vlakke onder klas 10.000; Klas B -filters kan gebruik word vir klas 10.000 tot 100; en klas C -filters kan gebruik word vir vlakke 100 tot 1. Dit wil voorkom asof daar twee soorte filters is om van te kies vir elke netheidsvlak. Of u 'n hoë werkverrigting of lae-werkverrigtingfilters moet kies, hang af van die spesifieke situasie: wanneer die omgewingsbesoedeling ernstig is, of die binnenshuise uitlaatverhouding groot is, of die skoon kamer veral belangrik is en 'n groter veiligheidsfaktor in hierdie of een benodig Van hierdie gevalle moet 'n hoëklasfilter gekies word; Andersins kan 'n laer-werkverrigtingfilter gekies word. Vir skoon kamers wat beheer van 0,1μm deeltjies benodig, moet klas D -filters gekies word, ongeag die gekontroleerde deeltjiekonsentrasie. Bogenoemde is slegs vanuit die perspektief van die filter. Om 'n goeie filter te kies, moet u ook die eienskappe van die skoon kamer, die filter en die suiweringstelsel ten volle oorweeg.
Filterinstallasie
Om die netheid van die lugtoevoer te verseker, is dit nie genoeg om slegs gekwalifiseerde filters te hê nie, maar ook om te verseker: a. Die filter is nie beskadig tydens vervoer en installasie nie; b. Die installasie is styf. Om die eerste punt te bereik, moet die konstruksie- en installasiepersoneel goed opgelei wees, met beide kennis van die installering van suiweringstelsels en bekwame installasievaardighede. Andersins sal dit moeilik wees om te verseker dat die filter nie beskadig word nie. Daar is diepgaande lesse in hierdie verband. Tweedens hang die probleem van installasie -digtheid hoofsaaklik af van die kwaliteit van die installasie -struktuur. Die ontwerphandleiding beveel in die algemeen aan: vir 'n enkele filter word 'n oop-tipe installasie gebruik, sodat selfs as lekkasie voorkom, dit nie in die kamer sal lek nie; Met behulp van 'n voltooide HEPA -luguitlaat, is dit ook makliker om te verseker. Vir die lug van veelvuldige filters word gelseël en negatiewe drukverseëling die afgelope jaar dikwels gebruik.
Gel Seal moet sorg dat die vloeistoftenkverbinding dig is en dat die totale raam op dieselfde horisontale vlak is. Negatiewe drukverseëling is om die buitenste periferie van die gewrig tussen die filter en die statiese drukkas en die raam in 'n negatiewe druktoestand te maak. Soos die oop-tipe installasie, sal dit nie in die kamer lek nie, selfs al is daar lekkasie. In werklikheid, solank die installeringsraam plat is en die filter -eindvlak in eenvormige kontak met die installeringsraam is, moet dit maklik wees om die filter aan die installasie -vereistes in enige installasietipe te laat voldoen.
2. Lugvloei -organisasie
Die lugvloei-organisasie van 'n skoon kamer verskil van dié van 'n algemene kamer met lugversorging. Dit vereis dat die skoonste lug eers by die bedryfsarea afgelewer word. Die funksie daarvan is om die besoedeling tot die verwerkte voorwerpe te beperk en te verminder. Vir hierdie doel moet die volgende beginsels oorweeg word by die ontwerp van die lugvloei -organisasie: minimaliseer rommelstrome om te verhoed dat besoedeling van buite die werkarea in die werkarea gebring word; Probeer om te voorkom dat sekondêre stofvlieg om die kans op stof te verminder wat die werkstuk besoedel; Die lugvloei in die werkarea moet so eenvormig as moontlik wees, en die windsnelheid daarvan moet aan die proses- en higiëne -vereistes voldoen. As die lugvloei na die terugkeer -luguitlaat vloei, moet die stof in die lug effektief weggeneem word. Kies verskillende lugaflewering en terugkeermodusse volgens verskillende skoonheidsvereistes.
Verskillende lugvloei -organisasies het hul eie eienskappe en bestek:
(1). Vertikale eenrigtingvloei
Benewens die algemene voordele van die verkryging van eenvormige afwaartse lugvloei, die vergemakliking van die rangskikking van prosesstoerusting, 'n sterk selfvermoë en die vereenvoudiging van algemene fasiliteite soos persoonlike suiweringsfasiliteite, het die vier lugvoorsieningsmetodes ook hul eie voor- en nadele: Vol- Gedekte HEPA -filters het die voordele van lae weerstand en lang filtervervangingsiklus, maar die plafonstruktuur is ingewikkeld en die koste is hoog; Die voor- en nadele van die sybedekte HEPA-filter-aflewering en die volle boonste aflewering van die volgat is teenoor dié van die volledige aflewering van die HEPA-filter. Onder hulle is die aflewering van volle gatplaat maklik om stof op die binneste oppervlak van die openingplaat op te tel as die stelsel nie voortdurend loop nie, en swak onderhoud het 'n mate van invloed op die netheid; Digte verspreider-aflewering benodig 'n menglaag, dus is dit slegs geskik vir hoë skoon kamers bo 4 m, en die eienskappe daarvan is soortgelyk aan die volle boonste aflewering; Die retoerlugmetode vir die plaat met roosters aan beide kante en die teruglugtingswinkels wat eweredig aan die onderkant van die teenoorgestelde mure gerangskik is, is slegs geskik vir skoon kamers met 'n netto spasiëring van minder as 6 m aan beide kante; Die terugkeerlugwinkels aan die onderkant van die enkelkant is slegs geskik vir skoon kamers met 'n klein afstand tussen die mure (soos ≤ <2 ~ 3M).
(2). Horisontale eenrigtingvloei
Slegs die eerste werkarea kan die netheidsvlak van 100 bereik. As die lug na die ander kant vloei, neem die stofkonsentrasie geleidelik toe. Daarom is dit slegs geskik vir skoon kamers met verskillende skoonheidsvereistes vir dieselfde proses in dieselfde kamer. Die plaaslike verspreiding van HEPA -filters op die lugvoorsieningsmuur kan die gebruik van HEPA -filters verminder en aanvanklike belegging bespaar, maar daar is eddies in plaaslike gebiede.
(3). Onstuimige lugvloei
Die kenmerke van die boonste aflewering van openingsplate en die topaflewering van digte verspreiders is dieselfde as hierbo genoem: die voordele van die aflewering van die newe is maklik om pypleidings te reël, geen tegniese tussenlaag is nodig nie, lae koste en bevorderlik vir die opknapping van ou fabrieke . Die nadele is dat die windsnelheid in die werkarea groot is, en die stofkonsentrasie aan die windkant is hoër as aan die wind van die wind; Die boonste aflewering van HEPA -filterafsetpunte het die voordele van 'n eenvoudige stelsel, geen pypleidings agter die HEPA -filter nie, en skoon lugvloei wat direk na die werkarea gelewer word, maar die skoon lugvloei versprei stadig en die lugvloei in die werkarea is meer eenvormig; As daar egter veelvuldige lugwinkels eweredig gerangskik is of die hepa -filterlugluglugte met verspreiders gebruik word, kan die lugvloei in die werkarea ook meer eenvormig gemaak word; Maar as die stelsel nie voortdurend loop nie, is die verspreider geneig tot stofakkumulasie.
Bogenoemde bespreking is alles in 'n ideale toestand en word aanbeveel deur relevante nasionale spesifikasies, standaarde of ontwerphandleidings. In werklike projekte is die lugvloei -organisasie nie goed ontwerp nie weens objektiewe toestande of subjektiewe redes vir die ontwerper. Algemene sluit in: vertikale eenrigtingvloei neem terug lug vanaf die onderste deel van die aangrensende twee mure aan, plaaslike klas 100 neem boonste aflewering en boonste terugkeer aan (dit wil sê, geen hanggordyn word onder die plaaslike lugverklaring bygevoeg nie), en onstuimige skoon kamers wat aangeneem word HEPA Filter Air Outlet Top aflewering en boonste opbrengste of enkelkant laer terugkeer (groter spasiëring tussen mure), ens. Hierdie metodes van die lugvloei-organisasie is gemeet en die meeste van hul netheid voldoen nie aan die ontwerp nie vereistes. As gevolg van die huidige spesifikasies vir leë of statiese aanvaarding, bereik sommige van hierdie skoon kamers skaars die ontwerpte netheidsvlak in leë of statiese toestande, maar die interferensievermoë teen besoedeling is baie laag, en sodra die skoon kamer die werkstoestand betree, is dit, dit voldoen nie aan die vereistes nie.
Die regte lugvloei -organisasie moet ingestel word met gordyne wat tot op die hoogte van die werkarea in die plaaslike omgewing hang, en die klas 100,000 moet nie die boonste aflewering en die boonste opbrengs aanvaar nie. Daarbenewens produseer die meeste fabrieke tans lugafsetpunte met 'n hoë doeltreffendheid met verspreiders, en hul verspreiders is slegs dekoratiewe openingsplate en speel nie die rol van diffuse lugvloei nie. Ontwerpers en gebruikers moet veral hieraan let.
3. lugtoevoervolume of lugsnelheid
Voldoende ventilasievolume is om die besoedelde lug binne te verdun en te verwyder. Volgens verskillende skoonheidsvereistes, moet die ventilasiefrekwensie toepaslik verhoog word as die netto hoogte van die skoon kamer hoog is. Onder hulle word die ventilasievolume van die 1 miljoen-vlak skoon kamer volgens die hoë-doeltreffendheidsuiweringstelsel oorweeg, en die res word oorweeg volgens die hoë-doeltreffendheidsuiweringstelsel; As die HEPA-filters van die klas 100,000 skoon kamer in die masjienkamer gekonsentreer word, of die sub-HEPA-filters aan die einde van die stelsel gebruik word, kan die ventilasiefrekwensie toepaslik met 10-20%verhoog word.
Vir die bogenoemde ventilasievolume aanbevole waardes, is die skrywer van mening dat: die windsnelheid deur die kamergedeelte van die eenrigtingvloei -skoon kamer laag is, en die onstuimige skoon kamer het 'n aanbevole waarde met 'n voldoende veiligheidsfaktor. Vertikale eenrigtingvloei ≥ 0,25 m/s, horisontale eenrigtingvloei ≥ 0,35 m/s. Alhoewel aan die skoonheidsvereistes voldoen kan word wanneer dit in leë of statiese toestande getoets word, is die vermoë teen besoedeling swak. Sodra die kamer die werkstaat binnekom, sal die netheid moontlik nie aan die vereistes voldoen nie. Hierdie soort voorbeeld is nie 'n geïsoleerde geval nie. Terselfdertyd is daar geen aanhangers wat geskik is vir suiweringstelsels in my land se ventilatorreeks nie. Oor die algemeen maak ontwerpers dikwels nie akkurate berekeninge van die lugweerstand van die stelsel nie, of sien dit nie of die geselekteerde waaier op 'n gunstiger werkpunt op die kenmerkende kromme is nie, wat lei tot die lugvolume of windspoed wat nie binnekort die ontwerpwaarde bereik nie Nadat die stelsel in werking gestel is. Die Amerikaanse federale standaard (FS209A ~ B) het bepaal dat die lugvloeisnelheid van 'n eenrigtingskoon kamer deur die deursnee van die skoon kamer gewoonlik op 90ft/min (0,45 m/s) gehandhaaf word, en die snelheid van die snelheid is binne ± 20% onder die voorwaarde van geen inmenging in die hele kamer nie. Enige beduidende afname in lugvloeisnelheid sal die moontlikheid van selfreinigingstyd en besoedeling tussen werkposisies verhoog (na die bekendmaking van FS209C in Oktober 1987, is geen regulasies gemaak vir alle parameter-aanwysers anders as stofkonsentrasie nie).
Om hierdie rede is die skrywer van mening dat dit gepas is om die huidige binnelandse ontwerpwaarde van eenrigtingvloeitempo toepaslik te verhoog. Ons eenheid het dit in werklike projekte gedoen, en die effek is relatief goed. Turbulente skoon kamer het 'n aanbevole waarde met 'n relatief voldoende veiligheidsfaktor, maar baie ontwerpers is steeds nie verseker nie. As u spesifieke ontwerpe maak, verhoog dit die ventilasievolume van klas 100,000 skoon kamer tot 20-25 keer/u, klas 10.000 skoon kamer tot 30-40 keer/u, en klas 1000 skoon kamer tot 60-70 keer/u. Dit verhoog nie net die toerustingvermoë en aanvanklike belegging nie, maar verhoog ook toekomstige onderhouds- en bestuurskoste. In werklikheid is dit nie nodig om dit te doen nie. By die samestelling van my land se tegniese maatreëls vir lugskoonmaak, is meer as Class 100 Clean Room in China ondersoek en gemeet. Baie skoon kamers is onder dinamiese toestande getoets. Die resultate het getoon dat ventilasievolumes van klas 100,000 skoon kamers ≥10 keer/h, klas 10.000 skoon kamers ≥20 keer/h, en klas 1000 skoon kamers ≥50 keer/h aan die vereistes kan voldoen. Die Amerikaanse federale standaard (FS2O9A ~ B) bepaal: nie-onheilspellende skoon kamers (klas 100,000, klas 10.000), kamerhoogte 8 ~ 12ft (3,44 ~ 3,66 m), beskou die hele kamer gewoonlik ten minste een keer elke 3 minute geventileer (dws 20 keer/h). Daarom het die ontwerpspesifikasie 'n groot surplus -koëffisiënt in ag geneem, en die ontwerper kan veilig kies volgens die aanbevole waarde van ventilasievolume.
4. Statiese drukverskil
Die handhawing van 'n sekere positiewe druk in skoon kamer is een van die belangrikste toestande om te verseker dat die skoon kamer nie of minder besoedel is om die ontwerpte netheidsvlak te handhaaf nie. Selfs vir negatiewe druk skoon kamers, moet dit aangrensende kamers of suites hê met 'n netheidsvlak, nie laer as die vlak daarvan om 'n sekere positiewe druk te handhaaf nie, sodat die skoonheid van die negatiewe druk skoon kamer gehandhaaf kan word.
Die positiewe drukwaarde van die skoon kamer verwys na die waarde wanneer die binnenshuise statiese druk groter is as die statiese druk van buite wanneer alle deure en vensters gesluit is. Dit word bewerkstellig volgens die metode dat die lugvoorsieningsvolume van die suiweringstelsel groter is as die retoer lugvolume en die uitlaat lugvolume. Om die positiewe drukwaarde van die skoon kamer te verseker, is die toevoer, opbrengste en uitlaatwaaiers verkieslik inmekaargesluit. As die stelsel aangeskakel is, word die Supply -waaier eers begin, en dan word die terugkeer- en uitlaatwaaiers begin; As die stelsel afgeskakel is, word die uitlaatwaaier eers afgeskakel, en dan word die terugkeer- en aanbodwaaiers afgeskakel om te voorkom dat die skoon kamer besoedel word wanneer die stelsel aan en uit is.
Die lugvolume wat benodig word om die positiewe druk van die skoon kamer te handhaaf, word hoofsaaklik bepaal deur die lugdigtheid van die onderhoudstruktuur. In die vroeë dae van die konstruksie van skoon kamer in my land, as gevolg van die swak lugdigtheid van die omheiningstruktuur, het dit 2 tot 6 keer/u lugtoevoer geduur om 'n positiewe druk van ≥5Pa te handhaaf; Op die oomblik is die lugdigtheid van die onderhoudstruktuur aansienlik verbeter, en slegs 1 tot 2 keer/u lugtoevoer is nodig om dieselfde positiewe druk te handhaaf; en slegs 2 tot 3 keer/u lugtoevoer is nodig om ≥10PA te handhaaf.
My land se ontwerpspesifikasies [6] bepaal dat die statiese drukverskil tussen skoon kamers van verskillende grade en tussen skoon gebiede en nie-skoon gebiede nie minder nie as 0,5 mm H2O (~ 5PA) moet wees, en die statiese drukverskil tussen die skoon gebied moet wees en die buitelewe moet nie minder nie as 1,0 mm H2O (~ 10PA) wees. Die skrywer is van mening dat hierdie waarde om drie redes te laag blyk te wees:
(1) Positiewe druk verwys na die vermoë van 'n skoon kamer om binnenshuise lugbesoedeling deur die gapings tussen deure en vensters te onderdruk, of om die besoedelende stowwe wat in die kamer binnedring, tot die minimum te beperk wanneer die deure en vensters vir 'n kort tydjie oopgemaak word. Die grootte van die positiewe druk dui op die sterkte van die besoedelingsonderdrukkingsvermoë. Hoe groter die positiewe druk, hoe beter (wat later bespreek sal word).
(2) Die lugvolume wat benodig word vir positiewe druk is beperk. Die lugvolume wat benodig word vir 5PA -positiewe druk en 10PA -positiewe druk is slegs ongeveer 1 tyd/h anders. Waarom doen dit nie? Dit is duidelik dat dit beter is om die onderste limiet van positiewe druk as 10pa te neem.
(3) Die Amerikaanse federale standaard (FS209a ~ b) bepaal dat wanneer alle ingange en uitgange gesluit is, die minimum positiewe drukverskil tussen die skoon kamer en enige aangrensende lae netheidsarea 0,05 duim waterkolom (12.5PA) is. Hierdie waarde is deur baie lande aangeneem. Maar die positiewe drukwaarde van die skoon kamer is nie hoe hoër nie, hoe beter. Volgens die werklike ingenieurstoetse van ons eenheid vir meer as 30 jaar, wanneer die positiewe drukwaarde ≥ 30PA is, is dit moeilik om die deur oop te maak. As u die deur onverskillig toemaak, sal dit 'n knal maak! Dit sal mense bang maak. As die positiewe drukwaarde ≥ 50 ~ 70pa is, sal die gapings tussen deure en vensters 'n fluitjie maak, en die swakke of diegene met 'n paar onvanpaste simptome sal ongemaklik voel. Die toepaslike spesifikasies of standaarde van baie lande tuis en in die buiteland spesifiseer egter nie die boonste limiet van positiewe druk nie. As gevolg hiervan, probeer baie eenhede slegs aan die vereistes van die onderste limiet voldoen, ongeag hoeveel die boonste limiet is. In die werklike skoon kamer wat die skrywer ondervind, is die positiewe drukwaarde so hoog as 100Pa of meer, wat baie slegte gevolge tot gevolg het. In werklikheid is die aanpassing van die positiewe druk nie 'n moeilike ding nie. Dit is heeltemal moontlik om dit binne 'n sekere reeks te beheer. Daar was 'n dokument waarin hy bekendgestel het dat 'n sekere land in Oos-Europa die positiewe drukwaarde as 1-3mm H20 (ongeveer 10 ~ 30pa) bepaal. Die skrywer is van mening dat hierdie reeks meer gepas is.
Postyd: Feb-13-2025