Elektroniese vereiste vir skoon kamerontwerp

Benewens die streng beheer van deeltjies, het elektroniese skoon kamer voorgestel deur chipproduksiewerkswinkels, geïntegreerde stroombaanvrye werkswinkels en werkswinkels vir skyfvervaardiging ook strenger vereistes vir temperatuur- en humiditeitsbeheer, verligting en mikro-skok. Verwyder die impak van statiese elektrisiteit op produksieprodukte streng, sodat die omgewing aan die produksieprosesvereistes van elektroniese produkte in 'n skoon omgewing kan voldoen.

Die temperatuur en humiditeit van die elektroniese skoon kamer moet volgens die produksieprosesvereistes bepaal word. As daar geen spesifieke vereistes vir die produksieproses is nie, kan die temperatuur 20-26 ° C wees en die relatiewe humiditeit 30%-70%. Die temperatuur van die personeel skoon kamer en sitkamer kan 16-28 wees. Volgens die Chinese nasionale standaard GB-50073, wat ooreenstem met die internasionale ISO-standaarde, is die netheidsvlak van hierdie soort skoon kamer 1-9. Onder hulle, klas 1-5, is die lugvloeipatroon eenrigtingvloei of gemengde vloei; Klas 6-lugvloeipatroon is nie-onheilspellende vloei en lugverandering is 50-60 keer/h; Klas 7-lugvloei-tipe is nie-onheilspellende vloei, en lugverandering is 15-25 keer/h; Klas 8-9 Lugvloei-tipe is nie-onheilspellende vloei, die lugverandering is 10-15 keer/h.

Volgens die huidige spesifikasies moet die geraasvlak binne klas 10.000 elektroniese skoon kamer nie groter as 65dB (a) wees nie.

1. Die volledige verhouding van die vertikale vloei skoon kamer in elektroniese skoon kamer moet nie minder as 60%wees nie, en die horisontale eenrigtingvloei moet nie minder as 40%wees nie, anders is dit 'n gedeeltelike eenrigtingstroom.

2. Die statiese drukverskil tussen elektroniese skoon kamer en die buitelug moet nie minder as 10PA wees nie, en die statiese drukverskil tussen skoon gebiede en nie-skoon gebiede met verskillende lugheid in die lug behoort nie minder as 5PA te wees nie.

3. Die hoeveelheid vars lug in 'n klas 10000 elektroniese skoon kamer moet die waarde van die volgende twee items neem.

4. Vergoed die som van die binnenshuise uitlaat lugvolume en die vars lugvolume wat benodig word om die binnenshuise positiewe drukwaarde te handhaaf.

5. Sorg dat die hoeveelheid vars lug per persoon per uur per uur nie minder nie as 40 vierkante meter is.