Omgewingsbeskerming word meer en meer aandag geskenk, veral met die toename in waasweer. Clean Room Engineering is een van die omgewingsbeskermingsmaatreëls. Hoe kan u skoon kameringenieurswese gebruik om 'n goeie werk in die beskerming van die omgewing te doen? Kom ons praat oor die beheer in Clean Room Engineering.
Temperatuur en humiditeitsbeheer in skoon kamer
Die temperatuur en humiditeit van skoon ruimtes word hoofsaaklik bepaal op grond van die prosesvereistes, maar as hulle aan die prosesvereistes voldoen, moet menslike gemak in ag geneem word. Met die verbetering van die vereistes van die lugheid van die lug, is daar 'n neiging van strenger vereistes vir temperatuur en humiditeit in die proses.
As 'n algemene beginsel, word die vereistes vir temperatuurskommelingsreeks kleiner en kleiner as gevolg van die toenemende akkuraatheid van verwerking. Byvoorbeeld, in die litografie- en blootstellingsproses van grootskaalse geïntegreerde kringproduksie, word die verskil in termiese uitbreidingskoëffisiënt tussen glas en silikonwafels wat as maskermateriaal gebruik word, al hoe klein.
'N Silikonplaat met 'n deursnee van 100 μ m veroorsaak 'n lineêre uitbreiding van 0,24 μ m as die temperatuur met 1 grade styg. Daarom is 'n konstante temperatuur van ± 0,1 ℃ nodig, en die humiditeitswaarde is oor die algemeen laag, want na sweet sal die produk besoedel word, veral in halfgeleierwerkswinkels wat bang is vir natrium. Hierdie tipe werkswinkel mag nie meer as 25 ℃ wees nie.
Oormatige humiditeit veroorsaak meer probleme. As die relatiewe humiditeit meer as 55%is, sal kondensasie op die koelwaterpypwand vorm. As dit in presisie -toestelle of stroombane voorkom, kan dit verskillende ongelukke veroorsaak. As die relatiewe humiditeit 50%is, is dit maklik om te roes. Boonop, as die humiditeit te hoog is, sal die stof wat aan die oppervlak van die silikonplaat kleef, chemies op die oppervlak geadsorbeer word deur watermolekules in die lug, wat moeilik is om te verwyder.
Hoe hoër die relatiewe humiditeit, hoe moeiliker is dit om die hegting te verwyder. As die relatiewe humiditeit egter onder 30%is, word deeltjies ook maklik op die oppervlak geadsorbeer as gevolg van die werking van elektrostatiese krag, en 'n groot aantal halfgeleiertoestelle is geneig tot afbreek. Die optimale temperatuurbereik vir die produksie van silikonplaatjies is 35-45%.
Lugdrukkontrolein 'n skoon kamer
Vir die meeste skoon ruimtes, om te voorkom dat eksterne besoedeling binnedring, is dit nodig om interne druk (statiese druk) hoër te handhaaf as eksterne druk (statiese druk). Die instandhouding van drukverskil moet oor die algemeen aan die volgende beginsels voldoen:
1. Die druk in skoon ruimtes moet hoër wees as in nie -skoon ruimtes.
2. Die druk in ruimtes met hoë skoonheidsvlakke moet hoër wees as in aangrensende ruimtes met lae netheidsvlakke.
3. Die deure tussen skoon kamers moet oopgemaak word na kamers met hoë netheidsvlakke.
Die instandhouding van die drukverskil hang af van die hoeveelheid vars lug, wat onder hierdie drukverskil die luglekkasie van die gaping kan vergoed. Die fisiese betekenis van drukverskil is dus die weerstand van die lekkasie (of infiltrasie) lugvloei deur verskillende gapings in skoon kamer.
Postyd: Jul-21-2023