Omgewingsbeskerming kry al hoe meer aandag, veral met die toenemende mistige weer. Skoonkameringenieurswese is een van die omgewingsbeskermingsmaatreëls. Hoe kan skoonkameringenieurswese gebruik word om 'n goeie werk in omgewingsbeskerming te doen? Kom ons praat oor die beheer in skoonkameringenieurswese.
Temperatuur- en humiditeitsbeheer in skoonkamer
Die temperatuur en humiditeit van skoon ruimtes word hoofsaaklik bepaal op grond van prosesvereistes, maar wanneer aan prosesvereistes voldoen word, moet menslike gemak in ag geneem word. Met die verbetering van lugreinheidsvereistes, is daar 'n tendens van strenger vereistes vir temperatuur en humiditeit in die proses.
As 'n algemene beginsel, as gevolg van die toenemende presisie van verwerking, word die vereistes vir temperatuurfluktuasiebereik al hoe kleiner. Byvoorbeeld, in die litografie- en blootstellingsproses van grootskaalse geïntegreerde stroombaanproduksie, word die verskil in termiese uitbreidingskoëffisiënt tussen glas- en silikonwafers wat as maskermateriaal gebruik word, al hoe kleiner.
'n Silikonwafel met 'n deursnee van 100 μm veroorsaak 'n lineêre uitsetting van 0.24 μm wanneer die temperatuur met 1 graad styg. Daarom is 'n konstante temperatuur van ± 0.1 ℃ nodig, en die humiditeitswaarde is oor die algemeen laag, want na sweet sal die produk besoedel word, veral in halfgeleierwerkswinkels wat bang is vir natrium. Hierdie tipe werkswinkel moet nie 25 ℃ oorskry nie.
Oormatige humiditeit veroorsaak meer probleme. Wanneer die relatiewe humiditeit 55% oorskry, sal kondensasie op die verkoelingswaterpypwand vorm. As dit in presisietoestelle of -stroombane voorkom, kan dit verskeie ongelukke veroorsaak. Wanneer die relatiewe humiditeit 50% is, is dit maklik om te roes. Boonop, wanneer die humiditeit te hoog is, sal die stof wat aan die oppervlak van die silikonwafel kleef, chemies deur watermolekules in die lug op die oppervlak geadsorbeer word, wat moeilik is om te verwyder.
Hoe hoër die relatiewe humiditeit, hoe moeiliker is dit om die adhesie te verwyder. Wanneer die relatiewe humiditeit egter onder 30% is, word deeltjies ook maklik op die oppervlak geadsorbeer as gevolg van die werking van elektrostatiese krag, en 'n groot aantal halfgeleiertoestelle is geneig tot onklaarraking. Die optimale temperatuurreeks vir silikonwafelproduksie is 35-45%.
Lugdrukbeheerin skoon kamer
Vir die meeste skoon ruimtes, om te verhoed dat eksterne besoedeling binnedring, is dit nodig om interne druk (statiese druk) hoër as eksterne druk (statiese druk) te handhaaf. Die handhawing van drukverskil moet oor die algemeen aan die volgende beginsels voldoen:
1. Die druk in skoon ruimtes moet hoër wees as dié in nie-skoon ruimtes.
2. Die druk in ruimtes met hoë skoonheidsvlakke moet hoër wees as dié in aangrensende ruimtes met lae skoonheidsvlakke.
3. Die deure tussen skoonkamers moet oopgemaak word na kamers met hoë vlakke van netheid.
Die handhawing van die drukverskil hang af van die hoeveelheid vars lug, wat die luglekkasie uit die gaping onder hierdie drukverskil moet kan vergoed. Die fisiese betekenis van die drukverskil is dus die weerstand teen lekkasie (of infiltrasie) van lugvloei deur verskeie gapings in 'n skoonkamer.
Plasingstyd: 21 Julie 2023