Die chipopbrengskoers in die IC -vervaardigingsbedryf is nou verwant aan die grootte en aantal lugdeeltjies wat op die chip neergesit word. 'N Goeie lugvloei -organisasie kan die deeltjies wat deur die stofbron van die skoon kamer gegenereer word, neem om te verseker dat die skoonheid van die skoon kamer, dit wil sê die lugvloei -organisasie in skoon kamer, 'n belangrike rol speel in die opbrengskoers van IC -produksie. Die ontwerp van die lugvloei -organisasie in skoon kamer moet die volgende doelwitte bereik: verminder of elimineer die rommelstroom in die vloeiveld om die behoud van skadelike deeltjies te vermy; Handhaaf 'n toepaslike positiewe drukgradiënt om kruisbesoedeling te voorkom.
Lugvloei krag
Volgens die beginsel van die skoon kamer sluit die kragte wat op die deeltjies inwerk, massakrag, molekulêre krag, aantrekkingskrag tussen deeltjies, lugvloei -krag, ens.
Lugvloei -krag: verwys na die krag van die lugvloei wat veroorsaak word deur die aflewering, lugvloei, termiese konveksie -lugvloei, kunsmatige roering en ander lugvloei met 'n sekere vloeitempo om die deeltjies te dra. Vir die tegniese beheer van die skoon kameromgewing is lugvloei -krag die belangrikste faktor.
Eksperimente het getoon dat die deeltjies in die lugvloei -beweging die lugvloei -beweging op byna dieselfde snelheid volg. Die toestand van die deeltjies in die lug word bepaal deur die lugvloei -verdeling. Die lugvloei wat binnenshuise deeltjies beïnvloed, sluit hoofsaaklik die volgende in: lugvoorsiening lugvloei (insluitend primêre lugvloei en sekondêre lugvloei), lugvloei en termiese konveksie -lugvloei wat veroorsaak word deur mense wat loop, en die lugvloei wat veroorsaak word deur prosesbedryf en industriële toerusting. Verskillende lugvoorsieningsmetodes, snelheidskoppelvlakke, operateurs en industriële toerusting en geïnduseerde verskynsels in skoon kamers is almal faktore wat die netheidsvlak beïnvloed.
Faktore wat lugvloei -organisasie beïnvloed
1. Die invloed van die lugvoorsieningsmetode
(1). Lugvoorsieningspoed
Om eenvormige lugvloei te verseker, moet die lugtoevoerspoed eenvormig wees in 'n skoon kamer; Die dooie sone van die lugtoevoeroppervlak moet klein wees; en die drukval in die ULPA moet ook eenvormig wees.
Eenvormige lugtoevoerspoed: dit wil sê, die ongelykheid van die lugvloei word binne ± 20%beheer.
Minder dooie sone op die lugtoevoeroppervlak: nie net moet die vlak van die ULPA -raam verminder word nie, maar nog belangriker, modulêre FFU moet aangeneem word om die oortollige raam te vereenvoudig.
Om vertikale eenrigting -lugvloei te verseker, is die drukvalkeuse van die filter ook baie belangrik, wat vereis dat die drukverlies in die filter nie kan afwyk nie.
(2). Vergelyking tussen die FFU -stelsel en die aksiale vloei -waaierstelsel
FFU is 'n lugvoorsieningseenheid met 'n waaier en 'n filter (ULPA). Nadat die lug deur die sentrifugale waaier van FFU ingesuig word, word die dinamiese druk omgeskakel in statiese druk in lugkanaal en eweredig deur ULPA uitgewaai. Die lugtoevoerdruk op die plafon is 'n negatiewe druk, sodat geen stof in die skoon kamer sal lek as die filter vervang word nie. Eksperimente het getoon dat die FFU -stelsel beter is as die aksiale vloei -waaierstelsel in terme van eenvormigheid van die luguitlaat, die lugvloei -parallelisme en die ventilasie -doeltreffendheidsindeks. Dit is omdat die lugvloei -parallelisme van die FFU -stelsel beter is. Die gebruik van die FFU -stelsel kan die lugvloei in die skoon kamer beter georganiseer maak.
(3). Die invloed van die FFU se eie struktuur
FFU bestaan hoofsaaklik uit waaiers, filters, lugvloei -gidstoestelle en ander komponente. Die ultra-hoë doeltreffendheidsfilter ULPA is die belangrikste waarborg vir die vraag of die skoon kamer die nodige netheid van die ontwerp kan bereik. Die materiaal van die filter sal ook die eenvormigheid van die vloeiveld beïnvloed. As 'n growwe filtermateriaal of 'n laminêre vloeiplaat by die filteruitlaat gevoeg word, kan die uitlaatvloei -veld maklik eenvormig gemaak word.
2. Impak van verskillende snelheidskoppelvlakke van netheid
In dieselfde skoon kamer, tussen die werkarea en die nie-werkingsarea van vertikale eenrigtingvloei, as gevolg van die verskil in lugsnelheid by die ULPA-uitlaat, sal 'n gemengde draaikolk op die koppelvlak gegenereer word, en hierdie koppelvlak sal 'n onstuimige word Lugvloei -sone met veral hoë lugturbulensie -intensiteit. Deeltjies kan na die oppervlak van die toerusting oorgedra word en die toerusting en wafers besoedel.
3. Impak van personeel en toerusting
As die skoon kamer leeg is, voldoen die lugvloei -eienskappe in die kamer in die algemeen aan die ontwerpvereistes. Sodra die toerusting die skoon kamer binnegekom het, personeel en produkte oorgedra word, sal daar onvermydelik hindernisse vir die lugvloei -organisasie wees. By die uitsteekende hoeke of rande van die toerusting sal die gas byvoorbeeld afgelei word om 'n onstuimige sone te vorm, en die vloeistof in die sone word nie maklik deur die gas weggevoer nie, wat dus besoedeling veroorsaak. Terselfdertyd word die oppervlak van die toerusting verhit as gevolg van deurlopende werking, en die temperatuurgradiënt sal 'n reflow -sone naby die masjien veroorsaak, wat die opeenhoping van deeltjies in die reflow -sone sal verhoog. Terselfdertyd sal die hoë temperatuur maklik veroorsaak dat die deeltjies ontsnap. Die dubbele effek vererger die probleme om die algehele vertikale laminêre netheid te beheer. Die stof van die operateurs in die skoon kamer is baie maklik om aan die wafers in hierdie reflow -sones te hou.
4. Invloed van terugkeer lugvloer
As die weerstand van die terugkeerlug wat deur die vloer beweeg, anders is, sal 'n drukverskil opgewek word, sodat die lug in die rigting van minder weerstand sal vloei, en eenvormige lugvloei nie verkry sal word nie. Die huidige gewilde ontwerpmetode is om verhoogde vloere te gebruik. As die openingstempo van verhoogde vloere 10%is, kan die lugvloeisnelheid in die werkhoogte van die kamer eweredig versprei word. Daarbenewens moet daar streng aandag geskenk word aan skoonmaakwerk om die besoedelingsbron van die vloer te verminder.
5. induksieverskynsel
Die sogenaamde induksieverskynsel verwys na die verskynsel dat die lugvloei in die teenoorgestelde rigting van die eenvormige vloei opgewek word, en die stof wat in die kamer opgewek word of die stof in die aangrensende besoedelde gebied aan die windkant veroorsaak word, sodat die stof, sodat die stof, sodat die stof, sodat die stof, die stof is kan die chip besoedel. Die volgende is die moontlike induksieverskynsels:
(1). Blindplaat
In 'n skoon kamer met vertikale eenrigtingvloei, as gevolg van die gewrigte aan die muur, is daar oor die algemeen groot blinde plate wat turbulensie in die plaaslike terugkeervloei sal opwek.
(2). Lampe
Die beligting in die skoon kamer sal 'n groter impak hê. Aangesien die hitte van fluoresserende lampe die lugvloei laat styg, sal daar geen onstuimige oppervlakte onder die fluoresserende lampe wees nie. Oor die algemeen is die lampe in die skoon kamer in 'n traanvorm ontwerp om die impak van die lampe op die lugvloei -organisasie te verminder.
(3.) Gapings tussen mure
As daar gapings bestaan tussen partisies met verskillende skoonheidsvlakke of tussen partisies en plafonne, kan stof uit die gebied met 'n lae skoonheidsvereistes na die aangrensende gebied oorgedra word met 'n hoë netheidsvereistes.
(4). Afstand tussen die masjien en die vloer of muur
As die gaping tussen die masjien en die vloer of muur baie klein is, sal dit onstuimigheid in die bons veroorsaak. Laat dus 'n gaping tussen die toerusting en die muur en lig die masjien op om te verhoed dat die masjien die grond direk aan die grond raak.
Postyd: Februarie 05-2025