Die skyfie-opbrengstempo in die IC-vervaardigingsbedryf hou nou verband met die grootte en aantal lugdeeltjies wat op die skyfie neergesit word. 'n Goeie lugvloei-organisasie kan die deeltjies wat deur die stofbron gegenereer word, weg van die skoonkamer neem om die netheid van die skoonkamer te verseker, dit wil sê, die lugvloei-organisasie in 'n skoonkamer speel 'n belangrike rol in die opbrengskoers van IC-produksie. Die ontwerp van die lugvloei-organisasie in 'n skoonkamer moet die volgende doelwitte bereik: die wervelstroom in die vloeiveld verminder of elimineer om die retensie van skadelike deeltjies te vermy; 'n gepaste positiewe drukgradiënt handhaaf om kruiskontaminasie te voorkom.
Lugvloeikrag
Volgens die skoonkamerbeginsel sluit die kragte wat op die deeltjies inwerk massakrag, molekulêre krag, aantrekkingskrag tussen deeltjies, lugvloeikrag, ens. in.
Lugvloeikrag: verwys na die krag van die lugvloei wat veroorsaak word deur die toevoer, terugvloei, termiese konveksielugvloei, kunsmatige roering en ander lugvloeie met 'n sekere vloeitempo om die deeltjies te dra. Vir die tegniese beheer van 'n skoonkameromgewing is lugvloeikrag die belangrikste faktor.
Eksperimente het getoon dat die deeltjies tydens lugvloeibeweging die lugvloeibeweging teen byna dieselfde spoed volg. Die toestand van die deeltjies in die lug word bepaal deur die lugvloeiverspreiding. Die lugvloeie wat binnenshuise deeltjies beïnvloed, sluit hoofsaaklik in: lugtoevoerlugvloei (insluitend primêre lugvloei en sekondêre lugvloei), lugvloei en termiese konveksielugvloei wat veroorsaak word deur mense wat loop, en die lugvloei wat veroorsaak word deur prosesbedrywighede en industriële toerusting. Verskillende lugtoevoermetodes, spoedkoppelvlakke, operateurs en industriële toerusting, en geïnduseerde verskynsels in skoonkamers is alles faktore wat die skoonheidsvlak beïnvloed.
Faktore wat lugvloei-organisasie beïnvloed
1. Die invloed van die lugtoevoermetode
(1). Lugtoevoerspoed
Om eenvormige lugvloei te verseker, moet die lugtoevoerspoed eenvormig wees in 'n eenrigtingskoonkamer; die dooie sone van die lugtoevoeroppervlak moet klein wees; en die drukval in die ULPA moet ook eenvormig wees.
Eenvormige lugtoevoerspoed: dit wil sê, die ongelykheid van die lugvloei word binne ±20% beheer.
Minder dooie sone op die lugtoevoeroppervlak: nie net moet die vlak area van die ULPA-raam verminder word nie, maar nog belangriker, modulêre FFU moet aangeneem word om die oorbodige raam te vereenvoudig.
Om vertikale unidireksionele lugvloei te verseker, is die drukvalkeuse van die filter ook baie belangrik, wat vereis dat die drukverlies in die filter nie kan afwyk nie.
(2). Vergelyking tussen FFU-stelsel en aksiale vloeiwaaierstelsel
FFU is 'n lugtoevoereenheid met 'n waaier en 'n filter (ULPA). Nadat die lug deur die sentrifugale waaier van die FFU ingesuig is, word die dinamiese druk in die lugkanaal omgeskakel na statiese druk en eweredig deur ULPA uitgeblaas. Die lugtoevoerdruk op die plafon is negatiewe druk, sodat geen stof in die skoonkamer sal lek wanneer die filter vervang word nie. Eksperimente het getoon dat die FFU-stelsel beter is as die aksiale vloeiwaaierstelsel in terme van luguitlaatuniformiteit, lugvloeiparallelisme en ventilasie-doeltreffendheidsindeks. Dit is omdat die lugvloeiparallelisme van die FFU-stelsel beter is. Die gebruik van die FFU-stelsel kan die lugvloei in die skoonkamer beter georganiseerd maak.
(3). Die invloed van FFU se eie struktuur
FFU bestaan hoofsaaklik uit waaiers, filters, lugvloei-geleiertoestelle en ander komponente. Die ultra-hoë doeltreffendheidsfilter ULPA is die belangrikste waarborg of die skoonkamer die vereiste netheid van die ontwerp kan bereik. Die materiaal van die filter sal ook die eenvormigheid van die vloeiveld beïnvloed. Wanneer 'n growwe filtermateriaal of 'n laminêre vloeiplaat by die filteruitlaat gevoeg word, kan die uitlaatvloeiveld maklik eenvormig gemaak word.
2. Impak van verskillende spoedkoppelvlakke van netheid
In dieselfde skoonkamer, tussen die werkarea en nie-werkarea van vertikale eenrigtingvloei, sal 'n gemengde vortex-effek by die koppelvlak gegenereer word as gevolg van die verskil in lugspoed by die ULPA-uitlaat, en hierdie koppelvlak sal 'n turbulente lugvloeisone met 'n besonder hoë lugturbulensie-intensiteit word. Deeltjies kan na die oppervlak van die toerusting oorgedra word en die toerusting en wafers besoedel.
3. Impak van personeel en toerusting
Wanneer die skoonkamer leeg is, voldoen die lugvloei-eienskappe in die kamer oor die algemeen aan die ontwerpvereistes. Sodra die toerusting die skoonkamer binnegaan, personeel beweeg en produkte oorgedra word, sal daar onvermydelik hindernisse vir die lugvloei-organisasie wees. Byvoorbeeld, by die uitsteekende hoeke of rande van die toerusting sal die gas afgelei word om 'n turbulente sone te vorm, en die vloeistof in die sone word nie maklik deur die gas weggevoer nie, wat besoedeling veroorsaak. Terselfdertyd sal die oppervlak van die toerusting verhit word as gevolg van voortdurende werking, en die temperatuurgradiënt sal 'n hervloei-sone naby die masjien veroorsaak, wat die ophoping van deeltjies in die hervloei-sone sal verhoog. Terselfdertyd sal die hoë temperatuur maklik veroorsaak dat die deeltjies ontsnap. Die dubbele effek vererger die moeilikheid om die algehele vertikale laminêre skoonheid te beheer. Die stof van die operateurs in die skoonkamer is baie maklik om aan die wafers in hierdie hervloei-sones vas te kleef.
4. Invloed van terugvoerlugvloer
Wanneer die weerstand van die terugvoerlug wat deur die vloer beweeg verskil, sal 'n drukverskil gegenereer word, sodat die lug in die rigting van minder weerstand sal vloei, en eenvormige lugvloei sal nie verkry word nie. Die huidige gewilde ontwerpmetode is om verhoogde vloere te gebruik. Wanneer die openingstempo van verhoogde vloere 10% is, kan die lugvloeisnelheid in die werkhoogte van die kamer eweredig versprei word. Daarbenewens moet streng aandag gegee word aan skoonmaakwerk om die besoedelingsbron van die vloer te verminder.
5. Induksieverskynsel
Die sogenaamde induksieverskynsel verwys na die verskynsel dat die lugvloei in die teenoorgestelde rigting van die eenvormige vloei gegenereer word, en die stof wat in die kamer of die stof in die aangrensende besmette area gegenereer word, na die opwaartse kant geïnduseer word, sodat die stof die skyfie kan besoedel. Die volgende is die moontlike induksieverskynsels:
(1). Blindplaat
In 'n skoonkamer met vertikale unidireksionele vloei, as gevolg van die voeë aan die muur, is daar gewoonlik groot blinde plate wat turbulensie in die plaaslike terugvloei sal genereer.
(2). Lampe
Die beligtingstoebehore in die skoonkamer sal 'n groter impak hê. Aangesien die hitte van fluoresserende lampe die lugvloei laat styg, sal daar geen turbulente area onder die fluoresserende lampe wees nie. Oor die algemeen word die lampe in die skoonkamer in 'n traanvorm ontwerp om die impak van die lampe op die lugvloei-organisasie te verminder.
(3.) Gapings tussen mure
Wanneer daar gapings tussen afskortings met verskillende skoonheidsvlakke of tussen afskortings en plafonne is, kan stof van die area met lae skoonheidsvereistes na die aangrensende area met hoë skoonheidsvereistes oorgedra word.
(4). Afstand tussen die masjien en die vloer of muur
As die gaping tussen die masjien en die vloer of muur baie klein is, sal dit terugkaatsende turbulensie veroorsaak. Laat dus 'n gaping tussen die toerusting en die muur en lig die masjien op om te verhoed dat die masjien direk aan die grond raak.
Plasingstyd: 05 Februarie 2025