Die chipopbrengs in die vervaardigingsbedryf van die chip is nou verwant aan die grootte en aantal lugdeeltjies wat op die chip neergesit word. Goeie lugvloei -organisasie kan deeltjies neem wat uit stofbronne weggehou word, weg van die skoon kamer en die skoonheid van die skoonkamer verseker. Dit wil sê, die lugvloei -organisasie in Cleanroom speel 'n belangrike rol in die opbrengs van chipproduksie. Die doelwitte wat bereik moet word in die ontwerp van die lugvloei -organisasie vir skoon kamer, is: om rommelstrome in die vloeiveld te verminder of uit te skakel om die behoud van skadelike deeltjies te voorkom; Om 'n toepaslike positiewe drukgradiënt te handhaaf om kruiskontaminasie te voorkom.
Volgens die beginsel van die skoon kamer sluit die kragte wat op deeltjies inwerk, massakrag, molekulêre krag, aantrekkingskrag tussen deeltjies, lugvloei -krag, ens.
Lugvloei -krag: verwys na die krag van lugvloei wat veroorsaak word deur die toevoer en terugkeer -lugvloei, termiese konveksie -lugvloei, kunsmatige roering en ander lugvloei met 'n sekere vloeitempo om deeltjies te dra. Vir die beheer van die omgewingstegnologie vir skoon kamer is lugvloei -krag die belangrikste faktor.
Eksperimente het getoon dat deeltjies in lugvloei -beweging die lugvloei op byna presies dieselfde snelheid volg. Die toestand van deeltjies in die lug word bepaal deur die lugvloeiverspreiding. Die belangrikste effekte van lugvloei op binnenshuise deeltjies sluit in: lugvoorsiening lugvloei (insluitend primêre lugvloei en sekondêre lugvloei), lugvloei en termiese konveksie -lugvloei wat veroorsaak word deur mense wat loop, en die impak van lugvloei op deeltjies wat veroorsaak word deur prosesoperasies en industriële toerusting. Verskillende lugvoorsieningsmetodes, snelheidskoppelvlakke, operateurs en industriële toerusting, geïnduseerde verskynsels, ens. In skoonkamers is alles faktore wat die netheidsvlak beïnvloed.
1. Invloed van lugvoorsieningsmetode
(1) Lugtoevoerspoed
Om eenvormige lugvloei te verseker, moet die lugtoevoerspoed in die eenrigtingvloei -skoon kamer eenvormig wees; Die dooie sone op die lugtoevoeroppervlak moet klein wees; en die drukval binne die HEPA -filter moet ook eenvormig wees.
Die lugtoevoerspoed is eenvormig: dit wil sê, die ongelykheid van die lugvloei word binne ± 20%beheer.
Daar is minder dooie ruimte op die lugtoevoeroppervlak: nie net moet die vlak van die HEPA -raam verminder word nie, maar nog belangriker, modulêre FFU moet gebruik word om die oortollige raam te vereenvoudig.
Om te verseker dat die lugvloei vertikaal en eenrigting is, is die drukvalkeuse van die filter ook baie belangrik, en dit is nodig dat die drukverlies binne die filter nie bevooroordeeld kan wees nie.
(2) Vergelyking tussen die FFU -stelsel en die aksiale vloei -waaierstelsel
FFU is 'n lugvoorsieningseenheid met 'n waaier en HEPA -filter. Die lug word deur die sentrifugale waaier van die FFU ingesuig en omskep die dinamiese druk in statiese druk in die lugkanaal. Dit word eweredig deur die HEPA -filter uitgeblaas. Die lugtoevoerdruk op die plafon is negatiewe druk. Op hierdie manier sal geen stof in 'n skoon kamer lek as u die filter vervang nie. Eksperimente het getoon dat die FFU -stelsel beter is as die aksiale vloei -waaierstelsel in terme van eenvormigheid van die luguitlaat, lugvloei -parallelisme en ventilasiedoeltreffendheidsindeks. Dit is omdat die lugvloei -parallelisme van die FFU -stelsel beter is. Die gebruik van die FFU -stelsel kan die lugvloei -organisasie in 'n skoon kamer verbeter.
(3) Invloed van die FFU se eie struktuur
FFU bestaan hoofsaaklik uit waaiers, filters, lugvloei -gidse en ander komponente. Die HEPA -filter is die belangrikste waarborg vir Clean Room om die nodige netheid wat deur ontwerp benodig word, te bereik. Die materiaal van die filter sal ook die eenvormigheid van die vloeiveld beïnvloed. As 'n ruwe filtermateriaal of 'n vloeidlaat by die filteruitlaat gevoeg word, kan die uitlaatvloei -veld maklik eenvormig gemaak word.
2. Impak van spoedkoppelvlak met verskillende netheid
In dieselfde skoon kamer, tussen die werkarea en die nie-werkarea met vertikale eenrigtingvloei, as gevolg van die verskil in lugsnelheid by die HEPA-vak, sal 'n gemengde draaikolk op die koppelvlak voorkom, en hierdie koppelvlak sal 'n onstuimige word Lugvloei -sone. Die intensiteit van lugturbulensie is veral sterk, en deeltjies kan na die oppervlak van die toerustingmasjien oorgedra word en die toerusting en wafers besoedel.
3. Impak op personeel en toerusting
As die skoon kamer leeg is, voldoen die lugvloei -eienskappe in die kamer gewoonlik aan die ontwerpvereistes. Sodra toerusting die skoonkamer binnekom, mense beweeg en produkte vervoer word, is daar onvermydelik hindernisse na die lugvloei -organisasie, soos skerp punte wat uit die toerustingmasjien uitsteek. Aan die hoeke of rande sal die gas lei om 'n onstuimige vloei -area te vorm, en die vloeistof in die gebied sal nie maklik deur die inkomende gas weggevoer word nie, wat dus besoedeling veroorsaak.
Terselfdertyd sal die oppervlak van die meganiese toerusting verhit word as gevolg van deurlopende werking, en die temperatuurgradiënt sal 'n reflow -area naby die masjien veroorsaak, wat die ophoping van deeltjies in die reflow -area verhoog. Terselfdertyd sal die hoë temperatuur maklik veroorsaak dat die deeltjies ontsnap. Die dubbele effek versterk die totale vertikale laag. Die probleme om die netheid van die stroom te beheer. Stof van operateurs in 'n skoon kamer kan maklik aan die wafers in hierdie reflow -gebiede kleef.
4. Invloed van terugkeer lugvloer
As die weerstand van die terugkeerlug wat deur die vloer beweeg, anders is, sal die drukverskil voorkom, wat veroorsaak dat lug in die rigting van klein weerstand vloei, en eenvormige lugvloei nie verkry word nie. Die huidige gewilde ontwerpmetode is om 'n verhoogde vloer te gebruik. As die openingsverhouding van die verhoogde vloer op 10%is, kan die snelheid van die lugvloei eweredig op die binnenshuise werkhoogte versprei word. Daarbenewens moet daar streng aandag geskenk word aan skoonmaakwerk om die bron van besoedeling op die vloer te verminder.
5. induksieverskynsel
Die sogenaamde induksieverskynsel verwys na die verskynsel van die opwekking van lugvloei in die teenoorgestelde rigting as die eenvormige vloei, wat stof veroorsaak wat in kamer of stof in aangrensende besmette gebiede aan die winderige kant veroorsaak word, waardeur die stof die werf besoedel. Moontlike geïnduseerde verskynsels sluit die volgende in:
(1) Blindplaat
In 'n skoon kamer met vertikale eenrigtingvloei, as gevolg van die gewrigte aan die muur, is daar oor die algemeen groot blinde panele wat onstuimige vloei en plaaslike terugvloei sal lewer.
(2) lampe
Liggies in skoon kamer sal 'n groter impak hê. Aangesien die hitte van die fluoresserende lamp die lugvloei laat styg, sal die fluoresserende lamp nie 'n onstuimige gebied word nie. Oor die algemeen is die lampe in 'n skoon kamer in 'n traanvorm ontwerp om die impak van die lampe op die lugvloei -organisasie te verminder.
(3) Gapings tussen mure
As daar gapings is tussen verdelingmure of plafonne met verskillende netheidsvereistes, kan stof van gebiede met 'n lae skoonheidsvereistes oorgedra word na aangrensende gebiede met 'n hoë skoonheidsvereistes.
(4) Die afstand tussen die meganiese toerusting en die vloer of muur
As die gaping tussen die meganiese toerusting en die vloer of die muur klein is, sal die onstuimige turbulensie voorkom. Laat dus 'n gaping tussen die toerusting en die muur en lig die masjienplatform op om direkte kontak met die grond te vermy.
Postyd: Nov-02-2023