Die skyfie-opbrengs in die skyfievervaardigingsbedryf hou nou verband met die grootte en aantal lugdeeltjies wat op die skyfie neergesit word. Goeie lugvloei-organisasie kan deeltjies wat uit stofbronne gegenereer word, weg van die skoonkamer neem en die netheid van die skoonkamer verseker. Dit wil sê, die lugvloei-organisasie in die skoonkamer speel 'n belangrike rol in die opbrengs van skyfieproduksie. Die doelwitte wat bereik moet word in die ontwerp van skoonkamer-lugvloei-organisasie is: om wervelstrome in die vloeiveld te verminder of uit te skakel om die retensie van skadelike deeltjies te vermy; om 'n gepaste positiewe drukgradiënt te handhaaf om kruiskontaminasie te voorkom.
Volgens die skoonkamerbeginsel sluit die kragte wat op deeltjies inwerk massakrag, molekulêre krag, aantrekkingskrag tussen deeltjies, lugvloeikrag, ens. in.
Lugvloeikrag: verwys na die krag van lugvloei wat veroorsaak word deur toevoer- en terugvloei, termiese konveksielugvloei, kunsmatige roering en ander lugvloeie met 'n sekere vloeitempo om deeltjies te dra. Vir die beheer van skoonkamer-omgewingstegnologie is lugvloeikrag die belangrikste faktor.
Eksperimente het getoon dat deeltjies in lugvloeibeweging die lugvloei teen byna presies dieselfde spoed volg. Die toestand van deeltjies in die lug word bepaal deur die lugvloeiverspreiding. Die hoofeffekte van lugvloei op binnenshuise deeltjies sluit in: lugtoevoerlugvloei (insluitend primêre lugvloei en sekondêre lugvloei), lugvloei en termiese konveksielugvloei wat veroorsaak word deur mense wat loop, en die impak van lugvloei op deeltjies wat veroorsaak word deur prosesbedrywighede en industriële toerusting. Verskillende lugtoevoermetodes, spoedkoppelvlakke, operateurs en industriële toerusting, geïnduseerde verskynsels, ens. in skoonkamers is alles faktore wat die skoonheidsvlak beïnvloed.
1. Invloed van lugtoevoermetode
(1) Lugtoevoerspoed
Om eenvormige lugvloei te verseker, moet die lugtoevoerspoed in die eenrigtingvloei-skoonkamer eenvormig wees; die dooie sone op die lugtoevoeroppervlak moet klein wees; en die drukval binne die hepa-filter moet ook eenvormig wees.
Die lugtoevoerspoed is uniform: dit wil sê, die ongelykheid van die lugvloei word binne ±20% beheer.
Daar is minder dooie ruimte op die lugtoevoeroppervlak: nie net moet die vlak area van die hepa-raam verminder word nie, maar nog belangriker, modulêre FFU moet gebruik word om die oorbodige raam te vereenvoudig.
Om te verseker dat die lugvloei vertikaal en unidireksioneel is, is die drukvalkeuse van die filter ook baie belangrik, en dit is nodig dat die drukverlies binne die filter nie bevooroordeeld is nie.
(2) Vergelyking tussen FFU-stelsel en aksiale vloeiwaaierstelsel
FFU is 'n lugtoevoereenheid met 'n waaier en HEPA-filter. Die lug word ingesuig deur die sentrifugale waaier van die FFU en skakel die dinamiese druk om in statiese druk in die lugkanaal. Dit word eweredig deur die HEPA-filter uitgeblaas. Die lugtoevoerdruk op die plafon is negatiewe druk. Op hierdie manier sal geen stof in die skoonkamer lek wanneer die filter vervang word nie. Eksperimente het getoon dat die FFU-stelsel beter is as die aksiale vloeiwaaierstelsel in terme van luguitlaatuniformiteit, lugvloeiparallelisme en ventilasie-doeltreffendheidsindeks. Dit is omdat die lugvloeiparallelisme van die FFU-stelsel beter is. Die gebruik van die FFU-stelsel kan die lugvloei-organisasie in 'n skoonkamer verbeter.
(3) Invloed van FFU se eie struktuur
FFU bestaan hoofsaaklik uit waaiers, filters, lugvloeigidse en ander komponente. Die HEPA-filter is die belangrikste waarborg vir skoonkamers om die vereiste netheid wat deur die ontwerp vereis word, te bereik. Die materiaal van die filter sal ook die eenvormigheid van die vloeiveld beïnvloed. Wanneer 'n growwe filtermateriaal of 'n vloeiplaat by die filteruitlaat gevoeg word, kan die uitlaatvloeiveld maklik eenvormig gemaak word.
2. Impak van spoedkoppelvlak met verskillende netheid
In dieselfde skoonkamer, tussen die werkarea en die nie-werkarea met vertikale eenrigtingvloei, sal 'n gemengde vortex-effek by die koppelvlak voorkom as gevolg van die verskil in lugspoed by die hepa-boks, en hierdie koppelvlak sal 'n turbulente lugvloeisone word. Die intensiteit van lugturbulensie is besonder sterk, en deeltjies kan na die oppervlak van die toerustingmasjien oorgedra word en die toerusting en wafers besoedel.
3. Impak op personeel en toerusting
Wanneer 'n skoonkamer leeg is, voldoen die lugvloei-eienskappe in die kamer oor die algemeen aan die ontwerpvereistes. Sodra toerusting die skoonkamer binnegaan, mense beweeg en produkte vervoer word, is daar onvermydelik hindernisse vir die lugvloei-organisasie, soos skerp punte wat uit die toerustingmasjien uitsteek. By die hoeke of rande sal die gas afgelei word om 'n turbulente vloei-area te vorm, en die vloeistof in die area sal nie maklik deur die inkomende gas weggevoer word nie, wat besoedeling veroorsaak.
Terselfdertyd sal die oppervlak van die meganiese toerusting verhit word as gevolg van die voortdurende werking, en die temperatuurgradiënt sal 'n hervloei-area naby die masjien veroorsaak, wat die ophoping van deeltjies in die hervloei-area verhoog. Terselfdertyd sal die hoë temperatuur maklik veroorsaak dat die deeltjies ontsnap. Die dubbele effek versterk die algehele vertikale laag. Dit is moeilik om die skoonheid van die stroom te beheer. Stof van operateurs in 'n skoonkamer kan maklik aan wafers in hierdie hervloei-areas vassit.
4. Invloed van terugvoerlugvloer
Wanneer die weerstand van die terugvoerlug wat deur die vloer beweeg verskil, sal die drukverskil voorkom, wat veroorsaak dat lug in die rigting van klein weerstand vloei, en 'n eenvormige lugvloei sal nie verkry word nie. Die huidige gewilde ontwerpmetode is om 'n verhoogde vloer te gebruik. Wanneer die openingsverhouding van die verhoogde vloer 10% is, kan die lugvloeisnelheid eweredig versprei word op die binnenshuise werkhoogte. Daarbenewens moet streng aandag gegee word aan skoonmaakwerk om die bron van besoedeling op die vloer te verminder.
5. Induksieverskynsel
Die sogenaamde induksieverskynsel verwys na die verskynsel van die opwekking van lugvloei in die teenoorgestelde rigting as die eenvormige vloei, wat stof wat in die kamer gegenereer word of stof in aangrensende besmette areas aan die opwaartse kant veroorsaak, waardeur die stof die wafer besoedel. Moontlike geïnduseerde verskynsels sluit die volgende in:
(1) Blinde plaat
In 'n skoonkamer met vertikale eenrigtingvloei, as gevolg van die voeë aan die muur, is daar gewoonlik groot blinde panele wat turbulente vloei en plaaslike terugvloei sal veroorsaak.
(2) Lampe
Beligtingstoebehore in skoonkamers sal 'n groter impak hê. Aangesien die hitte van die fluoresserende lamp die lugvloei laat styg, sal die fluoresserende lamp nie 'n turbulente area word nie. Oor die algemeen word die lampe in skoonkamers in 'n traanvorm ontwerp om die impak van die lampe op die organisasie van lugvloei te verminder.
(3) Gapings tussen mure
Wanneer daar gapings tussen afskortingsmure of plafonne met verskillende skoonheidsvereistes is, kan stof van areas met lae skoonheidsvereistes na aangrensende areas met hoë skoonheidsvereistes oorgedra word.
(4) Die afstand tussen die meganiese toerusting en die vloer of muur
Indien die gaping tussen die meganiese toerusting en die vloer of muur klein is, sal terugkaatsende turbulensie voorkom. Laat dus 'n gaping tussen die toerusting en die muur en lig die masjienplatform op om direkte kontak met die grond te vermy.
Plasingstyd: Nov-02-2023