Die chip-opbrengs in die chip-vervaardigingsbedryf is nou verwant aan die grootte en aantal lugdeeltjies wat op chip neergelê word.Goeie lugvloei-organisasie kan deeltjies wat uit stofbronne gegenereer word weg van skoon kamer neem en die skoonheid van die skoonkamer verseker.Dit wil sê, die lugvloei-organisasie in skoonkamer speel 'n belangrike rol in die opbrengs van skyfieproduksie.Die doelwitte wat bereik moet word in die ontwerp van skoonkamer lugvloei-organisasie is: om wervelstrome in vloeiveld te verminder of uit te skakel om die behoud van skadelike deeltjies te vermy;om 'n toepaslike positiewe drukgradiënt te handhaaf om kruiskontaminasie te voorkom.
Volgens die skoonkamerbeginsel sluit die kragte wat op deeltjies inwerk massakrag, molekulêre krag, aantrekking tussen deeltjies, lugvloeikrag, ens.
Lugvloeikrag: verwys na die krag van lugvloei wat veroorsaak word deur toevoer- en terugvoerlugvloei, termiese konveksie-lugvloei, kunsmatige roering en ander lugvloei met 'n sekere vloeitempo om deeltjies te dra.Vir skoonkamer omgewingstegnologiebeheer is lugvloeikrag die belangrikste faktor.
Eksperimente het getoon dat in lugvloeibeweging deeltjies die lugvloei teen byna presies dieselfde spoed volg.Die toestand van deeltjies in lug word bepaal deur die lugvloeiverspreiding.Die hoofeffekte van lugvloei op binnenshuise deeltjies sluit in: lugtoevoer lugvloei (insluitend primêre lugvloei en sekondêre lugvloei), lugvloei en termiese konveksie lugvloei wat veroorsaak word deur mense wat loop, en die impak van lugvloei op deeltjies wat veroorsaak word deur proses bedrywighede en industriële toerusting.Verskillende lugtoevoermetodes, spoedkoppelvlakke, operateurs en industriële toerusting, geïnduseerde verskynsels, ens in skoonkamers is almal faktore wat die netheidsvlak beïnvloed.
1. Invloed van lugtoevoermetode
(1) Lugtoevoerspoed
Om eenvormige lugvloei te verseker, moet die lugtoevoerspoed in die eenrigtingvloeiskoonkamer eenvormig wees;die dooie sone op die lugtoevoeroppervlak moet klein wees;en die drukval binne hepa filter moet ook uniform wees.
Die lugtoevoerspoed is uniform: dit wil sê, die ongelykheid van die lugvloei word binne ±20% beheer.
Daar is minder dooie spasie op die lugtoevoeroppervlak: nie net moet die vlakarea van die hepa-raam verminder word nie, maar nog belangriker, modulêre FFU moet gebruik word om die oortollige raam te vereenvoudig.
Om te verseker dat die lugvloei vertikaal en eenrigting is, is die drukvalseleksie van die filter ook baie belangrik, en dit word vereis dat die drukverlies binne die filter nie bevooroordeeld kan wees nie.
(2) Vergelyking tussen FFU-stelsel en aksiale vloeiwaaierstelsel
FFU is 'n lugtoevoereenheid met 'n waaier en hepa-filter.Die lug word deur die sentrifugale waaier van die FFU ingesuig en skakel die dinamiese druk om in statiese druk in die lugkanaal.Dit word eweredig deur hepa-filter uitgeblaas.Die lugtoevoerdruk op die plafon is negatiewe druk.Op hierdie manier sal geen stof in skoon kamer lek wanneer die filter vervang word nie.Eksperimente het getoon dat die FFU-stelsel beter is as die aksiale vloeiwaaierstelsel in terme van luguitlaat-uniformiteit, lugvloeiparallelisme en ventilasiedoeltreffendheidsindeks.Dit is omdat die lugvloeiparallelisme van die FFU-stelsel beter is.Die gebruik van die FFU-stelsel kan die lugvloei-organisasie in skoon kamer verbeter.
(3) Invloed van FFU se eie struktuur
FFU bestaan hoofsaaklik uit waaiers, filters, lugvloeigidse en ander komponente.Die hepa-filter is die belangrikste waarborg vir skoon kamer om die vereiste netheid wat deur ontwerp vereis word, te bereik.Die materiaal van die filter sal ook die eenvormigheid van die vloeiveld beïnvloed.Wanneer 'n growwe filtermateriaal of 'n vloeiplaat by die filteruitlaat gevoeg word, kan die uitlaatvloeiveld maklik uniform gemaak word.
2. Impak van spoedkoppelvlak met verskillende netheid
In dieselfde skoon kamer, tussen die werksarea en die nie-werkarea met vertikale eenrigtingvloei, as gevolg van die verskil in lugspoed by die hepa-boks, sal 'n gemengde draaikolk-effek by die koppelvlak voorkom, en hierdie koppelvlak sal 'n turbulente word lugvloei sone.Die intensiteit van lugturbulensie is besonder sterk, en deeltjies kan na die oppervlak van die toerustingmasjien oorgedra word en die toerusting en wafers besoedel.
3. Impak op personeel en toerusting
Wanneer skoon kamer leeg is, voldoen die lugvloei-eienskappe in die kamer oor die algemeen aan die ontwerpvereistes.Sodra toerusting skoonkamer binnegaan, mense beweeg en produkte vervoer word, is daar onvermydelik struikelblokke vir die lugvloei-organisasie, soos skerp punte wat by die toerustingmasjien uitsteek.By die hoeke of kante sal die gas aflei om 'n onstuimige vloeiarea te vorm, en die vloeistof in die area sal nie maklik deur die inkomende gas weggedra word nie, en sodoende besoedeling veroorsaak.
Terselfdertyd sal die oppervlak van die meganiese toerusting verhit word as gevolg van deurlopende werking, en die temperatuurgradiënt sal 'n hervloeiarea naby die masjien veroorsaak, wat die ophoping van deeltjies in hervloeiarea verhoog.Terselfdertyd sal die hoë temperatuur maklik die deeltjies laat ontsnap.Die dubbele effek versterk die algehele vertikale laag.Die moeilikheid om stroom netheid te beheer.Stof van operateurs in skoon kamer kan maklik aan wafers in hierdie hervloeigebiede kleef.
4. Invloed van terugkeer lug vloer
Wanneer die weerstand van die terugvoerlug wat deur die vloer gaan verskillend is, sal die drukverskil voorkom, wat veroorsaak dat lug in die rigting van klein weerstand vloei, en eenvormige lugvloei sal nie verkry word nie.Die huidige gewilde ontwerpmetode is om 'n verhoogde vloer te gebruik.Wanneer die openingsverhouding van die verhoogde vloer op 10% is, kan die lugvloeisnelheid eweredig op die binnenshuise werkhoogte versprei word.Daarbenewens moet streng aandag gegee word aan skoonmaakwerk om die bron van besoedeling op die vloer te verminder.
5. Induksie verskynsel
Die sogenaamde induksie-verskynsel verwys na die verskynsel van die opwekking van lugvloei in die teenoorgestelde rigting as die eenvormige vloei, wat stof veroorsaak wat in die kamer gegenereer word of stof in aangrensende besmette gebiede na die windwaartse kant, waardeur die stof die wafer besoedel.Moontlike geïnduseerde verskynsels sluit die volgende in:
(1) Blinde plaat
In 'n skoon kamer met vertikale eenrigtingvloei, as gevolg van die voeë op die muur, is daar oor die algemeen groot blinde panele wat turbulente vloei en plaaslike terugvloei sal produseer.
(2) Lampe
Beligtingstoebehore in skoon kamer sal 'n groter impak hê.Aangesien die hitte van die fluoresserende lamp die lugvloei laat styg, sal die fluoresserende lamp nie 'n onstuimige area word nie.Oor die algemeen is die lampe in 'n skoon kamer ontwerp in 'n traanvorm om die impak van die lampe op lugvloei-organisasie te verminder.
(3) Gapings tussen mure
Wanneer daar gapings tussen afskortingsmure of plafonne met verskillende netheidsvereistes is, kan stof van areas met lae netheidsvereistes oorgedra word na aangrensende areas met hoë netheidsvereistes.
(4) Die afstand tussen die meganiese toerusting en die vloer of muur
As die gaping tussen die meganiese toerusting en die vloer of muur klein is, sal terugslagturbulensie voorkom.Laat dus 'n gaping tussen die toerusting en die muur en lig die masjienplatform om direkte kontak met die grond te vermy.
Postyd: Nov-02-2023